Fast3D形貌量测仪
快速/定量/大面积/高精度
基于高精度测量数据，利于前沿的科学计算算法处理各种数据，并将数据三维可视化，便于品质和工艺人员数据分析
Rimage面反射率检测仪
R-image是一款多功能快速大面积定量成像设备，支持多种类型硅片的反射率、膜厚以及绕镀的检测。
MOCVD设备耗材综合表征系统
通过探测材料表面的反射情况，从而表征出因热循环导致的裂纹，涂层脱落，寿命等情况
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