项目
检测功能
检测硅片类型
测试重复性
支持158.75/166/182/210/230mm等尺寸硅片和半片(可以根据需求进行定制)
测试面积
测试时间
定制LED面光源
探测器
二维CCD阵列、分辨率2240*2216
电压、功率
220V、100W
光源寿命
> 1500天
设备外形尺寸